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MEMS加速度振動傳感器原理

發布時間: 2021-07-01  點擊次數: 932次

MEMS加速度振動傳感器原理MEMS是micro electro mechanical system微電子機械系統的縮寫,這種微電子制造技術適用于任何傳感器的制造。這些技術,通常在硅晶體上蝕刻,創造微觀尺寸的機械傳感結構。當與微電路耦合時,MEMS傳感器可以用于測量例如加速度之類的物理參數。不同于ICP®傳感器,MEMS傳感器測量頻率低至0Hz(靜態或者DC加速度)。PCB®制造兩種類型的MEMS加速度計,可變電容式和壓阻式。可變電容(VC)MEMS加速度計主要是低幅值,高靈敏度設備,用于結構監測和恒定加速度的測量。壓阻(PR)MEMS加速度計主要是高量程,低靈敏度設備,用于沖擊和爆炸應用。 工業加速度傳感器可以使用耐腐蝕和耐化學腐蝕的不銹鋼進行構造。在有害化學物質的環境中,傳感器考慮使用聚四氟乙烯耐腐蝕的連接電纜。強烈建議檢查任何可疑化學物質的化學兼容性圖表。對于能接觸到切屑的環境,一體鎧裝電纜能提供良好的保護。




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